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Bei der Verbrennung werden die Siliziumverbindungen aufgespalten und Silizium zu Siliziumdioxid umgesetzt. Enthalten die Abgase auch Chlorsilane, so entstehen zusätzlich Chlorwasserstoff und elementares Chlor. Da Siliziumverbindungen untereinander und mit Wasser reagieren, können einzelne Abgasströme in der Regel nicht zusammengefasst werden, sondern müssen separat in die Brennkammer eingespeist werden.
Richtige Temperatur muss eingehalten werden
Das gebildete Siliziumdioxid ist im Rauchgas als äußerst leichter weißer Feinstaub vorhanden. Die Verbrennungstemperatur in der Brennkammer muss unter 1000 °C gehalten werden. Bei höheren Temperaturen neigt das Siliziumdioxid zum Anbacken und bildet glasartige Beläge. Um einen Staubaustrag sicher zu stellen, wird die Brennkammer vertikal angeordnet und von oben befeuert. Als Brenner kommen Drallbrenner zum Einsatz. Entscheidend für einen verkrustungsfreien Betrieb sind eine gute Durchmischung der Rauchgase und eine geeignete Luftführung, die lokale Temperaturspitzen vermeidet.
Die heißen, staubbeladenen Abgase werden nach der Brennkammer durch Zumischen von Wasser und Luft auf ca. 180 bis 200 °C gekühlt. Auf eine Wärmerückgewinnung durch Kühlung in einem Dampfkessel wird hier bewusst verzichtet, da diese Apparate wegen der sehr speziellen Staubfracht äußerst schwierig zu betreiben sind. Die gekühlten Rauchgase werden einem Schlauchfilter zugeführt.
Die Schläuche werden von oben abwärts durchströmt, um eine Abscheidung des leichten Feinstaubs zu erleichtern (Schüttgewicht ca. 50 kg/m3). Zur Abscheidung von Chlorwasserstoff und elementarem Chlor werden die entstaubten Rauchgase nach dem Schlauchfilter in einer Nasswäsche weiter behandelt. Die Nasswäsche besteht aus einer Strahlquenche zur Kühlung und Sättigung der Rauchgase sowie einem zweistufigen Füllkörperwäscher.
Im unteren Waschkreislauf wird zur Neutralisation von Chlorwasserstoff Natronlauge zugeführt. Als Reduktionsmittel wird zusätzlich Wasserstoffperoxid dosiert. Die obere Waschstufe wird mit Frischwasser betrieben. Die gereinigten Abgase werden über ein Saugzuggebläse in die Atmosphäre abgegeben. /4/
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