Österreichisches Wasserstoff-Projekt Grüner Wasserstoff für die Halbleiterindustrie

Redakteur: Alexander Stark

Das Halbleiterunternehmen Infineon Technologies Austria und das Industriegase- und Engineeringunternehmen Linde haben einen Vertrag über den Bau einer Anlage für nachhaltig erzeugten Wasserstoff in der Halbleiterindustrie unterzeichnet. Die im Rahmen des Forschungsprojektes „H2Pioneer“ geplante Demonstrationsanlage zur Erzeugung von hochreinem Wasserstoff aus erneuerbaren Energiequellen in Villach soll Anfang 2022 in Betrieb gehen.

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Mittels nachhaltig erzeugten Stroms kann die Anlage bis zu 800 kg grünen Wasserstoff pro Tag herstellen.
Mittels nachhaltig erzeugten Stroms kann die Anlage bis zu 800 kg grünen Wasserstoff pro Tag herstellen.
(Bild: Linde)

Villach/Wien – Der Halbleiterhersteller Infineon baut aktuell die Fertigungskapazitäten am Standort in Villach aus und investiert 1,6 Milliarden Euro in eine neue High-Tech Chipfabrik für Leistungselektronik. Mit der Nachfrage nach Mikroelektroniklösungen steigt auch der Bedarf der in der Produktion benötigten Gase und Chemikalien – darunter hochreiner Wasserstoff als Prozessgas. Dieser Wasserstoff, der bisher per LKW aus Deutschland geliefert wurde, wird künftig direkt am Produktionsstandort von Infineon in Villach aus erneuerbaren Energien erzeugt werden.

Die Industriepartner Linde, Infineon Technologies Austria und Verbund treiben gemeinsam mit ihren Forschungspartnern, der Hycenta Research, dem Energieinstitut an der Johannes Kepler Universität (JKU) Linz und der Vorzeigeregion WIVA P&G diese nachhaltige Lösung als wichtigen Schritt in Richtung einer „Tech for Green Industry“ voran: Gefördert wird das Projekt im Rahmen der FTI-Initiative „Vorzeigeregion Energie“ des Klima- und Energiefonds, dotiert aus Mitteln des Klimaschutzministeriums (BMK).

Konstruktion, Bau und Betrieb der ersten Anlage zur Vor-Ort-Erzeugung von grünem Wasserstoff in der Halbleiterindustrie erfolgt aus einer Hand durch Linde. Die gesamte Anlage besteht aus einer containerisierten PEM-(Proton Exchange Membrane) Elektrolyseanlage, die Linde schlüsselfertig nach Villach liefert. Linde bereitet das dort produzierte Gas in einem kryogenen Verfahren auf, so dass hochreiner Wasserstoff für Infineon bereitgestellt werden kann. Darüber hinaus liefert der Anlagenbauer ein Flüssigwasserstoff-Versorgungssystem, um die Belieferung der Halbleiterproduktion rund um die Uhr zu gewährleisten. Mittels nachhaltig erzeugten Stroms kann die Anlage bis zu 800 kg grünen Wasserstoff pro Tag herstellen.

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