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Regelventile Das Ventil mit der Extraportion Präzision

Redakteur: Dominik Stephan

Die Halbleiterindustrie stellt hohe Anforderungen an die Ventil-, Mess- und Regeltechnik. Zunehmend reichen pneumatisch betätigte Ventile nicht mehr aus, um die Regelanforderungen führender Hersteller von Prozessequipment zu erfüllen. Aus diesem Grund hat der Ventilspezialist Gemü das elektromotorisch betätigte Regelventil C53 Icomline entwickelt.

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Wenn Präzision gefragt ist: Elektromotorisch betätigtes Membransitzventil C53 Icomline für hochreine Prozesse
Wenn Präzision gefragt ist: Elektromotorisch betätigtes Membransitzventil C53 Icomline für hochreine Prozesse
(Bild: Gemü)

Kaum eine Industrie ist so sehr auf Präzision angewiesen wie die Halbleiterfertigung - und kaum eine stellt derartige Anforderungen: Speziell für anspruchsvolle Regelanwendungen in der Halbleiterfertigung hat Gemü das 2/2-Wege Membransitzventil C53 Icomline entwickelt. Das Dichtprinzip beruht auf der PD-Technologie des Herstellers, bei der Antrieb und Medium durch einen konusförmigen Regelkegel aus PTFE getrennt werden.

Da Kegelkontur, Antriebshub und Anschlussgrößen angepasst werden können, erfüllt das Ventil nahezu alle Anforderungen. Durch die Kombination des präzisen Schrittmotors mit hochreinen Werkstoffen eignet sich das Ventil für Lithographie-, CMP-, und Ätzprozesse sowie für Analytik-Anwendungen.

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