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Restgasanalyse Restgas in Vakuumsystemen einfach analysieren

| Redakteur: Gabriele Ilg

Für eine effiziente Restgasanalyse in Vakuumsystemen hat der Vakuumspezialist Leybold seinen Leyspec gelauncht. Die Produktreihe ist in sechs Varianten erhältlich und eignet sich so für alle grundlegenden und erweiterten Restgasanalyseverfahren in anspruchsvollen Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen.

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Die neue Leyspec-Serie bietet für alle Anwendungen in der Massenspektrometrie eine Lösung.
Die neue Leyspec-Serie bietet für alle Anwendungen in der Massenspektrometrie eine Lösung.
(Bild: Leybold)

Das Gerät ist für eine moderne und nachhaltige Prozessüberwachung ausgelegt und mit einem integrierten Display lässt sich die Leyspec-Produktreihe einfach und ergonomisch bedienen:

Per Knopfdruck können sich Anwender etwa die Partialdrücke der relevanten Gase jederzeit anzeigen lassen. Ist der Anwender an einem zusätzlichen Gas in seinem Prozess interessiert, lässt sich ein weiterer Kanal individuell damit belegen.

Die Leyspec-Software, Bestandteil des Produktangebotes, ermöglicht zudem eine breite Palette von Anwendungen – von einfachen Operationen bis hin zu komplexen Analysen. In der Software wird immer der Gesamtdruck angezeigt. Über die intelligente Software werden den Usern dabei unterschiedliche Analysemöglichkeiten angeboten, aus denen ausgewählt werden kann. So sind zusätzliche Prüfverfahren und Funktionalitäten vorinstalliert, wie etwa der Heliumlecktest oder das Einstellen von Warnungen und Fehlergrenzwerten für bestimmte Gase. Einfache Gasanalysen lassen sich durchführen, ohne das Geräte an einen Computer anzuschließen.

Passende Lösung, je nach Prozessanforderung

Mit Blick auf die Restgasanalyse hält die Produktpalette, je nach Prozessanforderung, Lösungen für 100, 200 oder 300 amu (atomare Masseneinheiten) bereit. Die Ausführung Leyspec view eignet sich schwerpunktmäßig für Restgasanalysen in Hochvakuum-Pumpständen, in Forschungs- und Entwicklungs-Anwendungen sowie für Umwelt- und Gasverunreinigungs-Analysen. Dagegen ist die Variante Leyspec ultra eher für anspruchsvolle Restgasanalysen mit höherer Empfindlichkeit, die zuverlässige Erkennung von sehr niedrigen Partialdrücken sowie für höhere Ausheiztemperaturen ausgelegt.

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