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Membranvakuumpumpen

So setzen Sie ölfreie Membranvakuumpumpen erfolgreich als Vorpumpen für Turbovakuumpumpen ein

| Autor/ Redakteur: Dr. Jürgen Dirscherl / Dr. Jörg Kempf

Besonders für hochreine Prozesse in der Analytik oder für Anwendungen mit korrosiven Gasen ist der Einsatz von Membranvakuumpumpen als Vorpumpen für moderne Turbopumpen vorteilhaft. Mit drehzahlvariablen Systemen sind Wartungsintervalle ähnlich denen von Turbopumpen realisierbar. Lesen Sie, wie Sie mit ölfreien Membranvakuumpumpen zuverlässig Ihr Vorvakuum erzeugen.

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Abb. 1: Schnitt durch eine moderne vierzylindrige Membranvakuumpumpe (Vacuubrand MD 4 NT) (Bild: Vacuubrand)
Abb. 1: Schnitt durch eine moderne vierzylindrige Membranvakuumpumpe (Vacuubrand MD 4 NT) (Bild: Vacuubrand)

Hochvakuum wird für verschiedenste Prozesse benötigt, zur Erzeugung werden meist Turbopumpen eingesetzt. Immer häufiger kommen Weitbereichs-Turbopumpen mit integrierter Molekularpumpstufe zum Einsatz, mit einer Vorvakuumbeständigkeit der Turbopumpe im mbar-Bereich, so dass Membranvakuumpumpen als Vorpumpe verwendet werden können. Diese Kombination ergibt ein leistungsfähiges, völlig ölfreies System.

Der Wartungsaufwand für eine Membranpumpe ist deutlich geringer als für eine Drehschieberpumpe, da lästige Ölwechsel sowie die Entsorgung des Altöls entfallen. Auch die Gefahr des Diffundierens von Öldampf oder sogar eines Ölrückstiegs – z.B. in Folge eines Stromausfalls – in die Turbopumpe und die Hochvakuumkammer ist gebannt.

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Membranpumpen weisen keine schleifenden Dichtungen auf, im Gegensatz zu Scroll- und Kolbenpumpen. Diese schleifenden Dichtungen (z.B. aus PTFE/Kohle) erzeugen häufig Abrieb, der als Staub in die Turbopumpe und das Hochvakuumsystem zurückwandern und diese verschmutzen kann. Für “saubere“ Anwendungen sind daher Membranpumpen grundsätzlich zu bevorzugen.

Für Anwendungen mit korrosiven Gasen sind Chemie-Membranpumpen prädestiniert, bei denen alle medienberührten Teile aus Fluorkunststoffen aufgebaut sind. Sie weisen eine nahezu universelle Chemikalienbeständigkeit auf.

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