Pfeiffer Vacuum Omnigrade: Modulares System für Restgasanalysen

Restgasanalyse Restgasanalysesystem mit niedrigen Nachweisgrenzen

08.12.2023 Quelle: Pressemitteilung Pfeiffer Vaccum 1 min Lesedauer

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Wer Restgasanalysen durchführen muss, braucht hohe Sicherheit durch niedrige Nachweisgrenzen. Genau dafür hat Pfeiffer Vacuum das modulare RGA-System Omnigrade entwickelt.

Installation des Restgas-Messsystems von Pfeiffer Vacuum(Bild: Pfeiffer Vacuum) — Installation des Restgas-Messsystems von Pfeiffer Vacuum
(Bild: Pfeiffer Vacuum)

Neben Vakuumpumpen, Lecksuchern, Mess- und Analysegeräten, Bauteilen sowie Vakuumkammern und -systemen bietet Pfeiffer Vacuum nun auch maßgeschneiderte Komplettlösungen in Form von Restgasanalysesystemen (RGA) an. Schnell aufstrebende Märkte mit hohen technischen Anforderungen legen immer mehr Wert auf hervorragende Sauberkeit, da molekulare Verunreinigungen die Funktionalität ihrer Produkte negativ beeinflussen. Der Schlüssel zur Sicherung der Produktqualität liegt in der korrekten Bestimmung der Ausgasungsraten unter Hochvakuumbedingungen mit dem neuen kundenspezifischen System von Pfeiffer Vacuum namens „OmniGrade“.

Omnigrade ist ein hochentwickeltes Restgasanalysesystem, bei dem das Design so gewählt wird, dass es den spezifischen Prüfanforderungen entspricht. Ein Team von Pfeiffer Vacuum Experten erarbeitet die bestmögliche Lösung für diese Anforderungen unter Berücksichtigung der Gesamtkosten und der Vorlaufzeiten. Eine Konfiguration umfasst zwei oder drei Kammern. Sie besteht aus der Spektrometerkammer, in der das Massenspektrometer positioniert wird, sowie einer Messkammer, in der die Proben während der Messung platziert werden. Eine Schleusenkammer zur Minimierung des Systemuntergrunds und des Probentransports durch ein automatisches Transfersystem ist optional erhältlich.

Das Unternehmen betont den niedrigen Platzbedarf und die einfache Integration mit den neuesten Schnittstellen. Zudem sei eine Reinraumkompatibilität möglich. Das Massenspektrometer kann entsprechend den Anforderungen ausgewählt werden (Prismapro oder Hiquad). Thermisches Heizen, entweder des reinen Systems oder zusammen mit der Probe (Bake-out), trägt zur weiteren Optimierung der Messfähigkeit und zur Verbesserung der Probenreinheit bei.

„Omnigrade wurde mit energieeffizienten Komponenten und fortschrittlichen Technologien ausgestattet, die Abfall und Emissionen reduzieren. Es trägt dazu bei, die Prozesse zur Überprüfung der Reinheit zu optimieren, was zu weniger Abfall und einer effizienteren Nutzung der Ressourcen in der Produktion des Kunden führt", sagte Patrick Walther, Strategic Product Manager Instruments bei Pfeiffer Vacuum, auf der Precision Fair.

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