Elektrolyseanlage für Halbleiterherstellung Nachhaltige Wasserstoffversorgung für Infineon Austria

Quelle: Linde 2 min Lesedauer

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Am Infineon-Standort Villach ist eine von Linde errichtete Elektrolyseanlage in Betrieb gegangen, die die gesamte Halbleiterfertigung mit grünem Wasserstoff aus erneuerbaren Energien versorgt und damit CO2-Emissionen sowie Transportabhängigkeiten reduziert.

Durch Nutzung von zertifiziertem Ökostrom kann die Elektrolyse-Anlage rund 290 Tonnen sauberen Wasserstoff pro Jahr herstellen.(Bild:  Infineon)
Durch Nutzung von zertifiziertem Ökostrom kann die Elektrolyse-Anlage rund 290 Tonnen sauberen Wasserstoff pro Jahr herstellen.
(Bild: Infineon)

Ab sofort wird die gesamte Halbleiterproduktion am Infineon-Standort Villach vollständig und rund um die Uhr mit Wasserstoff aus erneuerbaren Energien versorgt. Die Elektrolyseanlage vor Ort ist nun in Betrieb gegangen. Der für die Elektrolyse erforderliche Strom kommt dabei ausschließlich aus regenerativen Quellen.

Thomas Reisinger, Vorstand für Operations Infineon Technologies Austria: „Die Sicherung unserer Wasserstoffversorgung hat für uns sowohl eine strategische als auch eine nachhaltige Wirkung. Mit der Elektrolyseanlage sichern wir unsere Wasserstoffversorgung für die Zukunft und minimieren Lieferabhängigkeiten. Und wir ersetzen den bisherigen Wasserstoff aus fossilen Quellen durch grün hergestellten Wasserstoff. Damit reduzieren wir CO2-Emissionen in der Lieferkette und leisten einen weiteren Beitrag aus Villach zum Infineon Konzern CO2-Neutralitätsziel.“

Grüner Wasserstoff als Prozessgas in der Halbleiterindustrie

Wasserstoff mit einem Reinheitsgrad von 99,999999 % wird in der Halbleiterindustrie als Prozessgas benötigt, um Materialschichten kontrolliert zu bearbeiten und präzise Mikrochips herzustellen. Bislang wurde Wasserstoff auf Basis von Erdgas per Lkw aus Deutschland nach Villach, Österreich geliefert. Mit der Zwei-Megawatt-Elektrolyse-Anlage wird jetzt vor Ort hochreiner Wasserstoff ohne CO2-Ausstoß produziert und genutzt. Linde ist Betreiber der Anlage und war für die Konstruktion und den Bau zuständig.

Richard Hagenfeldt, Geschäftsführer Linde Electronics: „Mit dieser PEM (Proton Exchange Membrane) Elektrolyseanlage setzen wir einen Meilenstein für Industrieprozesse und zeigen, wie innovative Technologie und starke Partnerschaften die Dekarbonisierung vorantreiben können. Gemeinsam mit Infineon und unseren Forschungspartnern machen wir grünen Wasserstoff zu einem festen Bestandteil der Halbleiterproduktion und stärken so den Industriestandort Österreich für die Zukunft.“

Mittels zertifizierten Ökostroms kann die Elektrolyse-Anlage rund 290 Tonnen sauberen Wasserstoff pro Jahr herstellen. Damit werden 100 % der benötigten Menge in der Produktion in Villach gedeckt. Durch die lokale Wasserstoffherstellung reduzieren sich die CO2-Emissionen in der Herstellung von Halbleitern.

Die Industriepartner Linde, Infineon Technologies Austria und Verbund haben gemeinsam mit ihren Forschungspartnern Hycenta Research, dem Energieinstitut an der Johannes Kepler Universität (JKU) Linz und der Vorzeigeregion Wiva P&G diese Lösung als wichtigen Schritt in Richtung einer „Tech for Green Industry“ vorangetrieben: Gefördert wird das Projekt im Rahmen der FTI-Initiative „Vorzeigeregion Energie“ des Klima- und Energiefonds, dotiert aus Mitteln des Klimaschutzministeriums (BMK).

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