Gasanalysesystem Massenspektrometer mit trocken verdichtender Pumpe

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Pfeiffer Vacuum GmbH

Shimadzu Deutschland GmbH

HARTER GmbH

PMA Kabelschutz - ABB STOTZ-KONTAKT GmbH

Pfeiffer Vacuum hat mit den Gasanalysesystemen Sputter Process Monitor SPM 220 und High Pressure Analyzer HPA 220 zwei neue Produkte auf den Markt gebracht. Beide Systemlösungen basieren auf dem Massenspektrometer PrismaPlus in Kombination mit einem trocken verdichtenden HiPace-Turbopumpstand. Sowohl der SPM 220 als auch der HPA 220 sind in den Massenbereichen 1-100 und 1-200 amu erhältlich, der HPA 220 auch für 1-300 amu. Der SPM 220 hat eine speziell entwickelte Ionenquelle, welche eine direkte Verbindung des Analysators mit der Prozesskammer ermöglicht. Dadurch lassen sich die Vakuumbedingungen von Sputterprozessen und ähnlichen Anwendungen bis zu einem Druck von 10^-2 Millibar überwachen. Der High Pressure Analyzer HPA 220 ist eine flexibel einsetzbare Vakuumlösung für Gasanalysen im Druckbereich von Hochvakuum bis 50 Millibar.

ACHEMA: Halle 8.0, E62

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