Kompakte Vakuum-Kraftpakete

Vakuumpumpen Kompakte Vakuum-Kraftpakete

19.01.2021Redakteur: Dominik Stephan

Massenspektrometrie, Elektronenmikroskopie, Messtechnik, Teilchenbeschleuniger und Plasmaphysik: Forschung braucht verlässliche (und leistungsstarke) Vakuumprozesse. Die entsprechenden Technologien überzeugen aber auch Kunden in der Industrie...

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Pfeiffer Vacuum GmbH

Edwards GmbH

Dinnissen B.V.

Pfeiffer Vacuum stellt die neuen Turbopumpen HiPace 350 und HiPace 450 vor
(Bild: Pfeiffer Vacuum)

Starke Leistung bei kleinem Footprint: Das wünschen sich nicht nur Forscher im Labor, wo Platz bekanntlich knapp (und teuer) ist, sondern auch Anlagenbetreiber in der Prozessindustrie. Deshalb verfügen die Turbopumpen der Hipace-Reihe von Pfeiffer Vacuum dank ihres Hybridlagers, bestehend aus einem keramischen Kugellager auf der Vorvakuumseite und einem permanentmagnetischen Radiallager auf der Hochvakuumseite, über eine besonders zuverlässige Lagerlösung und einem hohen Saugvermögen für leichte Gase. Das Einsatzspektrum der neuen Hipace 350 und 450 umfasst neben Analytik, Vakuumprozess- und Halbleitertechnik auch Anwendungen in den Bereichen Beschichtung, Forschung und Entwicklung sowie in der Industrie.

Die integrierte Antriebselektronik bietet eine Vielzahl von Kommunikationsschnittstellen einschließlich Profinet- und Ether Cat ohne Zunahme der Baugröße. Remote- und Sensorfunktionalitäten ermöglichen die Analyse von Pumpendaten zur optimalen Prozessüberwachung während des Betriebes. Ihr leiser Betrieb und der verbesserte Gasdurchsatz sollen in der Vakuumindustrie neue Maßstäbe setzen, so der Hersteller. Die Pumpen sind nach Semi S2, UL, CSA und Nema 12 zertifiziert. Pfeiffer Vacuum

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